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Perspectives on MEMS in bioengineering : a novel capacitive position microsensor

PEDROCCHI A; HOEN S; FERRIGNO G
IEEE TRANS BIOMED ENG , 2000, vol. 47, n° 1, p. 8-11
Doc n°: 93843
Localisation : Documentation IRR
Descripteurs : V - GENIE BIOMEDICAL

Système microélectro-mécanique microtechnique

Langue : ANGLAIS

Tiré à part : OUI

Identifiant basis : 2000209725

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